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Applications of excimer laser in nanofabrication

Applications of excimer laser in nanofabrication

Qiangfei Xia; Stephen Y. Chou

作者Qiangfei Xia; Stephen Y. Chou
卷第98卷
期第1期
印刷ISSN0947-8396
电子ISSN1432-0630
文件大小6320.74KB
发表时间2010-01
DOI10.1007/s00339-009-5455-0
页码9-59

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