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Analysis of trace impurities in semiconductor gas via

K. C. Cossel; F. Adler; K. A. Bertness; M. J. Thorpe; J. Feng; M. W. Raynor; J. Ye

作者K. C. Cossel; F. Adler; K. A. Bertness; M. J. Thorpe; J. Feng; M. W. Raynor; J. Ye
卷第100卷
期第4期
印刷ISSN0946-2171
电子ISSN1432-0649
文件大小2085.27KB
发表时间2010-09
DOI10.1007/s00340-010-4132-5
页码917-924