Nanopatterning of silica with mask-assisted ion implantation
G. Perotto; V. Bello; T. Cesca; G. Mattei; P. Mazzoldi; G. Pellegrini; C. Scian
- 作者G. Perotto; V. Bello; T. Cesca; G. Mattei; P. Mazzoldi; G. Pellegrini; C. Scian
- 卷第268卷
- 期第19期
- 印刷ISSN0168-583X
- 文件大小658.24KB
- 发表时间2010
- DOI10.1016/j.nimb.2010.05.091
- 页码3211-3214