Oxygen-enhanced wet thermal oxidation of GaAs
Bauters, J. F.; Fenlon, R. E.; Seibert, C. S.; Yuan, W.; Plunkett, J. S. B.; Li, J.; Hall, D. C.
- 期刊名称Applied Physics Letters
- 作者Bauters, J. F.; Fenlon, R. E.; Seibert, C. S.; Yuan, W.; Plunkett, J. S. B.; Li, J.; Hall, D. C.
- 卷第99卷
- 期第14期
- 印刷ISSN0003-6951
- 文件大小586.60KB
- 发表时间2011
- DOI10.1063/1.3647579