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Nitrogen self-diffusion in magnetron sputtered Si-C-N films

E. Hüger; H. Schmidt; T. Geue; J. Stahn; U. Tietze; D. Lott; A. Markwitz; U. Geckle; M. Bruns

作者E. Hüger; H. Schmidt; T. Geue; J. Stahn; U. Tietze; D. Lott; A. Markwitz; U. Geckle; M. Bruns
文件大小1181.91KB
发表时间2011
DOI10.1063/1.3585780