Atomic layer deposition enabled interconnect technology for vertical nanowire arrays

• 作者Jen-Hau Cheng; Dragos Seghete; Myongjai Lee; John B. Schlager; Kris A. Bertness; Norman A. Sanford; Ronggui Yang; Steven M. George; Y.C. Lee
• 卷第165卷
• 期第1期
• 印刷ISSN0924-4247
• 文件大小1586.79KB
• 发表时间2011
• DOI10.1016/j.sna.2009.12.038
• 页码107-114