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Zone plate focused soft X-ray lithography

Zone plate focused soft X-ray lithography

Adam F. G. Leontowich; Adam P. Hitchcock

作者Adam F. G. Leontowich; Adam P. Hitchcock
卷第103卷
期第1期
印刷ISSN0947-8396
电子ISSN1432-0630
文件大小665.69KB
发表时间2011-04
DOI10.1007/s00339-010-6172-4
页码1-11

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