Influence of Gas Mixture Ratio on Properties of SiNx:H Films for Crystalline Silicon Solar Cells
K. Dong Lee; S.S. Dahiwale; Y. Do Kim; S. Kim; S. Bae; S. Park; S. Ju Tark; D. Kim
- 作者K. Dong Lee; S.S. Dahiwale; Y. Do Kim; S. Kim; S. Bae; S. Park; S. Ju Tark; D. Kim
- 卷第27卷
- 印刷ISSN1876-6102
- 文件大小752.94KB
- 发表时间2012
- DOI10.1016/j.egypro.2012.07.087