Tuning the Sensitivity of a Metal-Based Piezoresistive Sensor Using Electromigration

• 期刊名称Journal of Microelectromechanical Systems
• 作者Mohanasundaram, S. M.; Pratap, Rudra; Ghosh, Arindam
• 卷第21卷
• 期第6期
• 印刷ISSN1057-7157
• 电子ISSN1941-0158
• 文件大小507.39KB
• 发表时间2012-12
• DOI10.1109/jmems.2012.2211579
• 页码1276-1278