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Structures and Properties of (TiAlSi)N Films

Structures and Properties of (TiAlSi)N Films

J.K. Chen; C.L. Chang; Y.N. Shieh; K.J. Tsai; B.H. Tsai

作者J.K. Chen; C.L. Chang; Y.N. Shieh; K.J. Tsai; B.H. Tsai
卷第36卷
文件大小836.59KB
发表时间2012
DOI10.1016/j.proeng.2012.03.049

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