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Elektronenbeugung zur Analyse dünner Funktionsschichten

Elektronenbeugung zur Analyse dünner Funktionsschichten

Thomas, Jürgen; Ramm, Jürgen; Gemming, Thomas
  • 期刊名称Vakuum in Forschung und Praxis
  • 作者Thomas, Jürgen; Ramm, Jürgen; Gemming, Thomas
  • 卷第24卷
  • 期第6期
  • 印刷ISSN0947-076X
  • 文件大小485.34KB
  • 发表时间2012-12
  • DOI10.1002/vipr.201200508
  • 页码30-33
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