Elektronenbeugung zur Analyse dünner Funktionsschichten
Thomas, Jürgen; Ramm, Jürgen; Gemming, Thomas
- 期刊名称Vakuum in Forschung und Praxis
- 作者Thomas, Jürgen; Ramm, Jürgen; Gemming, Thomas
- 卷第24卷
- 期第6期
- 印刷ISSN0947-076X
- 文件大小485.34KB
- 发表时间2012-12
- DOI10.1002/vipr.201200508
- 页码30-33