Structural and mechanical properties of Cr–Al–O–N thin films grown by cathodic arc deposition
A. Khatibi; J. Sjölen; G. Greczynski; J. Jensen; P. Eklund; L. Hultman
- 作者A. Khatibi; J. Sjölen; G. Greczynski; J. Jensen; P. Eklund; L. Hultman
- 卷第60卷
- 期第19期
- 文件大小2662.68KB
- 发表时间2012
- DOI10.1016/j.actamat.2012.08.010