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Effects of hydrogen atmosphere on pulsed-DC sputtered nanocrystalline Si:H films

Effects of hydrogen atmosphere on pulsed-DC sputtered nanocrystalline Si:H films

J.S. Cherng; S.H. Chang; S.H. Hong

作者J.S. Cherng; S.H. Chang; S.H. Hong
卷第47卷
期第10期
文件大小714.81KB
发表时间2012
DOI10.1016/j.materresbull.2012.04.108

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