Combined Application of Section and Projection Topography to Defect Analysis in PVT-Grown 4H-SiC

Wang, H.; Wu, F.; Byrappa, S.; Shun, S.; Raghothamachar, B.; Dudley, M.; Sanchez, E. K.; Chung, G.; Hansen, D.; Mueller, S. G.; Loboda, M. J.

期刊名称MRS Proceedings
作者Wang, H.; Wu, F.; Byrappa, S.; Shun, S.; Raghothamachar, B.; Dudley, M.; Sanchez, E. K.; Chung, G.; Hansen, D.; Mueller, S. G.; Loboda, M. J.
卷第1433卷
电子ISSN1946-4274
文件大小1871.99KB
发表时间2012-1
DOI10.1557/opl.2012.1142

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