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Metrologic platform with a modulation interference microscope

Loparev, A. V.; Romash, E. V.; Pravdivtsev, A. V.; Ignat’ev, P. S.; Indukaev, K. V.; Osipov, P. A.

期刊名称Journal of Optical Technology
作者Loparev, A. V.; Romash, E. V.; Pravdivtsev, A. V.; Ignat’ev, P. S.; Indukaev, K. V.; Osipov, P. A.
卷第79卷
期第6期
印刷ISSN1070-9762
文件大小512.86KB
发表时间2012-06-29
DOI10.1364/JOT.79.000371