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Hydrophobic direct bonding of silicon reconstructed surfaces

Hydrophobic direct bonding of silicon reconstructed surfaces

C. Rauer, F. Rieutord, J. M. Hartmann, A.-M. Charvet…

作者C. Rauer, F. Rieutord, J. M. Hartmann, A.-M. Charvet…
卷第19卷
期第5期
文件大小394.66KB
发表时间2013-05
DOI10.1007/s00542-013-1735-x
页码675-679

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