Fabrication of silicon nanowires by ion beam irradiation
Song, J.; Dang, Z. Y.; Azimi, S.; Breese, M. B. H.
- 期刊名称MRS Proceedings
- 作者Song, J.; Dang, Z. Y.; Azimi, S.; Breese, M. B. H.
- 卷第1512卷
- 电子ISSN1946-4274
- 文件大小9048.92KB
- 发表时间2013-1
- DOI10.1557/opl.2013.423