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Comparative Study of Plasma Parameters in Magnetic Pole Enhanced Inductively Coupled Argon Plasmas

Comparative Study of Plasma Parameters in Magnetic Pole Enhanced Inductively Coupled Argon Plasmas

Jan, F.; Khan, A. W.; Saeed, A.; Zakaullah, M.

期刊名称Plasma Science and Technology
作者Jan, F.; Khan, A. W.; Saeed, A.; Zakaullah, M.
卷第15卷
期第4期
印刷ISSN1009-0630
文件大小132.10KB
发表时间2013-04
DOI10.1088/1009-0630/15/4/05
页码329-334

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