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Control of plasma profile in microwave discharges via inverse-problem approach

Yasaka, Yasuyoshi; Tobita, Naoki; Tsuji, Akihiro

期刊名称AIP Advances
作者Yasaka, Yasuyoshi; Tobita, Naoki; Tsuji, Akihiro
卷第3卷
期第12期
电子ISSN2158-3226
文件大小3187.62KB
发表时间2013-12
DOI10.1063/1.4840735

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