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Optical nanolithography with λ/15 resolution using bowtie aperture array

Wen, Xiaolei; Traverso, Luis M.; Srisungsitthisunti, Pornsak; Xu, Xianfan; Moon, Euclid E.

期刊名称Applied Physics A
作者Wen, Xiaolei; Traverso, Luis M.; Srisungsitthisunti, Pornsak; Xu, Xianfan; Moon, Euclid E.
卷第117卷
期第1期
印刷ISSN0947-8396
电子ISSN1432-0630
文件大小611.81KB
发表时间2014-10
DOI10.1007/s00339-014-8265-y
页码307-311