Displacement Measurement With a Self-Sensing MEMS Electrostatic Drive

• 期刊名称Journal of Microelectromechanical Systems
• 作者Moore, Steven I.; Moheimani, S. O. Reza
• 卷第23卷
• 期第3期
• 印刷ISSN1057-7157
• 电子ISSN1941-0158
• 文件大小1663.34KB
• 发表时间2014-6
• DOI10.1109/JMEMS.2014.2314296
• 页码511-513