A Seismic-Grade Resonant MEMS Accelerometer

• 期刊名称Journal of Microelectromechanical Systems
• 作者Zou, Xudong; Thiruvenkatanathan, Pradyumna; Seshia, Ashwin A.
• 卷第23卷
• 期第4期
• 印刷ISSN1057-7157
• 电子ISSN1941-0158
• 文件大小728.29KB
• 发表时间2014-8
• DOI10.1109/jmems.2014.2319196
• 页码768-770