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High Sensitivity, Positive Tone, Low-k Polynorbornene Dielectrics

High Sensitivity, Positive Tone, Low-k Polynorbornene Dielectrics

Mueller, B. K.; Schwartz, J.; Sutlief, A.; Kohl, P. A.

期刊名称ECS Transactions
作者Mueller, B. K.; Schwartz, J.; Sutlief, A.; Kohl, P. A.
卷第61卷
期第3期
印刷ISSN1938-6737
电子ISSN1938-5862
文件大小192.33KB
发表时间2014-03-26
DOI10.1149/06103.0227ecst
页码227-235

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