Growth of patterned island arrays to identify origins of thin film stress
Chason, E.; Shin, J. W.; Chen, C.-H.; Engwall, A. M.; Miller, C. M.; Hearne, S. J.; Freund, L. B.
- 期刊名称Journal of Applied Physics
- 作者Chason, E.; Shin, J. W.; Chen, C.-H.; Engwall, A. M.; Miller, C. M.; Hearne, S. J.; Freund, L. B.
- 卷第115卷
- 期第12期
- 印刷ISSN0021-8979
- 电子ISSN1089-7550
- 文件大小1208.28KB
- 发表时间2014-03-28
- DOI10.1063/1.4870051