Modeling of Cu-CMP and Its Application for Hotspot Prediction

Fang, J.; Mao, Z.; Zhang, Y.; Ni, S.; Chen, Q.; Yu, S.; Lei, T.; Zhu, Y.; Kan, H.; Liu, Z.; Cao, Y.; Wei, F.; Zhu, J.

期刊名称ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者Fang, J.; Mao, Z.; Zhang, Y.; Ni, S.; Chen, Q.; Yu, S.; Lei, T.; Zhu, Y.; Kan, H.; Liu, Z.; Cao, Y.; Wei, F.; Zhu, J.
卷第3卷
期第5期
印刷ISSN2162-8769
电子ISSN2162-8777
文件大小1995.53KB
发表时间2014-03-12
DOI10.1149/2.014405jss

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