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NEMS Switches Monolithically Fabricated on CMOS MIM Capacitors

NEMS Switches Monolithically Fabricated on CMOS MIM Capacitors

J. Muñoz-gamarra; A. Uranga; N. Barniol

作者J. Muñoz-gamarra; A. Uranga; N. Barniol
文件大小545.24KB
发表时间2014
DOI10.1016/j.proeng.2014.11.312

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