发现好书期刊，享受阅读乐趣

海量图书期刊资源，随时随地畅享阅读乐趣

Contamination of Magnetron Sputtered Metallic Films by Oxygen From Residual Atmosphere in Deposition Chamber

Pokorný, Petr; Musil, Jindřich; Fitl, Přemysl; Novotný, Michal; Lančok, Jan; Bulíř, Jiří

期刊名称Plasma Processes and Polymers
作者Pokorný, Petr; Musil, Jindřich; Fitl, Přemysl; Novotný, Michal; Lančok, Jan; Bulíř, Jiří
卷第12卷
期第5期
印刷ISSN1612-8850
文件大小1077.42KB
发表时间2015-05
DOI10.1002/ppap.201400172
页码416-421