Electrochemical Micromachining for Nanofabrication, MEMS and Nanotechnology || Principle of Material Removal in Electrochemical Micromachining
- 作者Bhattacharyya, Bijoy
- 文件大小493.26KB
- 发表时间2015
- DOI10.1016/B978-0-323-32737-4.00003-7
- 页码53-67
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