Uncertainty in measurement of surface topography
- 期刊名称Surface Topography: Metrology and Properties
- 作者Haitjema, Han
- 卷第3卷
- 期第3期
- 电子ISSN2051-672X
- 文件大小1087.21KB
- 发表时间2015-09-03
- DOI10.1088/2051-672X/3/3/035004
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