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Concentration Profile Simulation of SiC/Si Heterostructures

Pezoldt, Jörg; Kharlamov, V.S.; Kulikov, Dmitri V.; Lubov, Maxim N.; Trushin, Yuri V.

期刊名称Materials Science Forum
作者Pezoldt, Jörg; Kharlamov, V.S.; Kulikov, Dmitri V.; Lubov, Maxim N.; Trushin, Yuri V.
卷第858卷
电子ISSN1662-9752
文件大小312.46KB
发表时间2016-5
DOI10.4028/www.scientific.net/msf.858.501
页码501-504