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Ultraprecision Machining of Silicon Wafer by Micromilling Process

Golshan, A.; Baharudin, B.T.H.T.; Aoyama, H.; Ariffin, M.K.A.M.; Ismail, M.I.S.; Ehsan, A.A.

期刊名称Procedia Engineering
作者Golshan, A.; Baharudin, B.T.H.T.; Aoyama, H.; Ariffin, M.K.A.M.; Ismail, M.I.S.; Ehsan, A.A.
卷第184卷
印刷ISSN1877-7058
文件大小330.80KB
发表时间2017
DOI10.1016/j.proeng.2017.04.085
页码192-196