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Tracking Control of a Monolithic Piezoelectric Nanopositioning Stage using an Integrated Sensor.

Tracking Control of a Monolithic Piezoelectric Nanopositioning Stage using an Integrated Sensor.

Omidbeike, Meysam; Teo, Yik R.; Yong, Yuen K.; Fleming, Andrew J.

期刊名称IFAC-PapersOnLine
作者Omidbeike, Meysam; Teo, Yik R.; Yong, Yuen K.; Fleming, Andrew J.
卷第50卷
期第1期
印刷ISSN2405-8963
文件大小1304.29KB
发表时间2017-07
DOI10.1016/j.ifacol.2017.08.2455
页码10913-10917

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