Improving the mechanical quality factor of ultra-low-loss silicon resonators

• 期刊名称Journal of Applied Physics
• 作者Metcalf, Thomas H.; Liu, Xiao; Abernathy, Matthew R.
• 卷第123卷
• 期第23期
• 印刷ISSN0021-8979
• 电子ISSN1089-7550
• 文件大小890.42KB
• 发表时间2018-06-21
• DOI10.1063/1.5027486