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Metrology for the next generation of semiconductor devices

Orji, N. G.; Badaroglu, M.; Barnes, B. M.; Beitia, C.; Bunday, B. D.; Celano, U.; Kline, R. J.; Neisser, M.; Obeng, Y.; Vladar, A. E.

期刊名称Nature Electronics
作者Orji, N. G.; Badaroglu, M.; Barnes, B. M.; Beitia, C.; Bunday, B. D.; Celano, U.; Kline, R. J.; Neisser, M.; Obeng, Y.; Vladar, A. E.
卷第1卷
期第10期
电子ISSN2520-1131
文件大小3523.80KB
发表时间2018-10
DOI10.1038/s41928-018-0150-9
页码532-547