Model Friction Studies of Chemical Mechanical Planarization Using a Pin-on-Disk Tribometer

• 期刊名称Tribology Letters
• 作者Jackson, Catheryn L.; Mosley, David W.
• 卷第67卷
• 期第3期
• 印刷ISSN1023-8883
• 电子ISSN1573-2711
• 文件大小4008.01KB
• 发表时间2019-9
• DOI10.1007/s11249-019-1188-1