Metalorganic chemical vapor deposition of aluminum nitride on vertical surfaces
Österlund, Elmeri; Suihkonen, Sami; Ross, Glenn; Torkkeli, Altti; Kuisma, Heikki; Paulasto-Kröckel, Mervi
- 期刊名称Journal of Crystal Growth
- 作者Österlund, Elmeri; Suihkonen, Sami; Ross, Glenn; Torkkeli, Altti; Kuisma, Heikki; Paulasto-Kröckel, Mervi
- 卷第531卷
- 印刷ISSN0022-0248
- 文件大小2169.68KB
- 发表时间2020-02
- DOI10.1016/j.jcrysgro.2019.125345