Oxygen Implanted Layers in Silicon Electrical and Microstructural Characterization
Varker, C. J.; Wilson, S. R.; Chan, S. S.; Whitfield, J. D.; Krause, S. J.
- 期刊名称MRS Proceedings
- 作者Varker, C. J.; Wilson, S. R.; Chan, S. S.; Whitfield, J. D.; Krause, S. J.
- 卷第45卷
- 电子ISSN1946-4274
- 文件大小1060.37KB
- 发表时间1985-1
- DOI10.1557/proc-45-129