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Nitrogen implantation in (100)-β-SiC layers grown on Si substrate

Nitrogen implantation in (100)-β-SiC layers grown on Si substrate

Hirano, Yasuaki; Inada, Taroh

期刊名称Journal of Applied Physics
作者Hirano, Yasuaki; Inada, Taroh
卷第77卷
期第3期
印刷ISSN0021-8979
文件大小1417.62KB
发表时间1995
DOI10.1063/1.358960

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