![RELIABLE PZT CMP TECHNOLOGY FOR NOVEL FRAM CAPACITORS]()
RELIABLE PZT CMP TECHNOLOGY FOR NOVEL FRAM CAPACITORSCHOI, S. H.; KO, H. Y.; HEO, J. E.; SON, Y. H.; BAE, B. J.; YOO, D. C.; IM, D. H.; JUNG, Y. J.; BYUN, K. R; HAHM, J. H.; SHIN, S. H.; YOON, B. U.; HONG, C. K.; CHO, H. K.; MOON, J. T. · Integrated Ferroelectrics · 2006