Multilayer soft mold for UV imprinting the 50 nm pitch dot array
D. Lee; E. H. Cho; H. S. Kim; B. K. Lee; M. B. Lee; J. S. Sohn; C. H. Lee; S. J. Suh
- 作者D. Lee; E. H. Cho; H. S. Kim; B. K. Lee; M. B. Lee; J. S. Sohn; C. H. Lee; S. J. Suh
- 文件大小753.00KB
- 发表时间2008
- DOI10.1116/1.2839880